机译:NH_3等离子体预处理对SiOC电介质上原子层沉积TaN势垒层初始反应的影响
机译:金属前体脉冲在等离子体增强原子层沉积中的金属前体脉冲的反应机理及表面面积的作用
机译:使用{eta(5):eta(1)-Cp(CH2)(3)NMe} Zr(NMe2)(2)/ O-3作为前体在Si(100)上ZrO2薄膜的原子层沉积
机译:原子层沉积TiO_2使用Ti(Och_3)_4和H_2O作为前体的初始表面反应机制
机译:氧化锡和氧化锌锌的原子层沉积:了解烷基金属前体与臭氧的反应。
机译:基于FT-IR和QM的气相环戊二烯基Tris(二甲基氨基)锆(CpZR(NME2)3)的原位监测系统的热分解基于FT-IR和原子层沉积
机译:Ta(NMe2)5前驱体与H2基等离子体沉积TaNx的原子层反应机理
机译:si原子层外延使用远程等离子体辅助氢解吸和乙硅烷作为前体。